气体流量控制器的工作原理及发展

       气体流量控制器，即英文名Mass Flow Controller, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置，即用户可根据需要进行流量设定。MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

       气体流量控制器的工作原理：将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。

       气体流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?

       控制器起源于上世纪八十年代末期, 现在在国外, 有逐步普及的趋势。在国内已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。其类型主要有两种, 一种是数字模拟兼容产品, 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源, 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外, 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时, 可以直接替换模拟式MFC, 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源, 没有模拟输入输出信号, 只有现场总线通讯信号。

       数字化质量流量控制器内置MCU多功能微处理器, 可以对采集到的流量信号进行数字化处理, 进行温度线性校正, 具有比模拟式产品更高的精度和线性性能。数字化的PID控制功能, 能提高稳定性和智能化地改变响应特性。串行通讯, 使MFC更便于进行计算机系统控制。数字化智能化的逐步替代全模拟的MFC, 这是技术发展的必然潮流。通过以上的分享，希望你对气体流量控制器有更多的认识。