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质量流量控制器利用了热传导原理



       本文关键词:质量流量控制器

       气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制;气体质量流量计(Mass FlowMeter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散,氧化,分子束外延,CVD, 等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。

       质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量,具有体积小,数字化程度高,安装方便,测量准确等优点。质量流量控制器可用于玻璃、太阳能、大气监测、工业制作、石油石化、煤炭冶金、制气配气、环保等各种工业企业的气体管路分配控制、烃类气体、可燃性气体、烟道气等气体的质量流量或实际工况的体积流量测量和监控。








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