高精度质量流量控制器的应用意义

      本文关键词：质量流量控制器

      高精度质量流量控制器，能够在较宽的量程范围内控制气体流量。该设备的精度、重复性响应速度等性能都优于传统的质量流量控制器，能适应较广领域的应用，它可以在1 MPa的输入压力，在0~ 50 C的环境及气体温度下工作，并能抵抗电磁干扰。

      其传感器芯片采用不锈钢真空封装,控制器采用绝缘材料密封包装，严格的电路设计可以保障在任何环境下，传感器的发热量限制在12 mW内。这些设计可确保其在毒性及爆炸性气体检测时的安全使用。

      在气体浓度监测的研究中，由于传感器的非线性,需要不同浓度的标准气体样本对监测系统进行标定。根据曲线拟合理，标定点越，拟合的输入/输出曲线就越准确。

      但是随着标定点的增多，需要配制的不同浓度值的标准气体样本也随之增加。高精度质量流量控制器的多组分动态配气系统正是在这种情况下诞生的，其可连续配制并供给浓度值连续可调的多组分混合标准气体。