PID控制电路就构成了流量质量控制器

      本文关键词：质量流量控制器

      质量流量控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2一 100%满刻度(量程比为50: 1)，流量分辨率为0. 1%满刻度。

      注意气体质量流量控制器的阀控”线置于清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量增大、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。

      PID控制电路就构成了流量质量控制器。气体质量流量控制器主要应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器