质量流量控制器是用于控制气体体积流量的仪表

      本文关键词：质量流量控制器

      质量流量控制器，Mass Flow Controller（MFC）是用于控制气体体积流量的仪表，它相较于质量流量计多了一个精密的电磁比例调节阀。因此，一般情况下质量流量控制器会有一个阀门全开模式，可以作为质量流量计来使用。质量流量控制器多用于制造设备中流控模块的集成以及作为科研实验中的配气装置。

       质量流量计和质量流量控制器的单位通常是SCCM（标况下毫升每分钟）、SLPM（标况下升每分钟）。这里要区别ML/MIN和L/MIN，SCCM和SLPM是标况体积流量，ML/MIN和L/MIN是工况体积流量。大多数工业配套工艺使用标况体积流量为单位，但一些行业的大气监测过程需要测量的是工况体积流量。

       质量流量计和质量流量控制器相较于传统流量计不管是在使用的便捷性，还是长期稳定性上都有着优势。新型的质量流量计和质量流量控制器在设计之初就贴合了制造业的在线监测和反馈控制的需求，可远程通过模拟信号量（4-20mA）/0-5V或者数字信号量RS485、profibus等进行数据监测以及流量的控制。