质量流量控制器的基本概念简述

    本文关键词：质量流量控制器

    质量流量控制器即Mass Flow Controller (MFC )，不但具有质量流量计的功能，还可以自动控制气体流量。用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器是一个稳流装置，可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。质量流量控制器带有控制阀门，既可以测量也可以控制气体流量大小。

    气体质量流量单位一般以SCCM (Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM、SLM 不同于mL/min、L/min 之处。标准状态下的气体密度是一个常数，可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。在标准状态下的体积流量等同于质量流量。