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本文关键词：质量流量控制器
热式质量流量控制器工作原理分为恒温差测量法和恒功率测量法。是在保持加热功率不变的状态下，通过测量气体经过管路前后的温度差来计算质量流量。 计算公式：P/△T = A+B(Qm)k其中，P为消耗功率，△T为气体经过管路前后的温度差，A和B为反应气体属性的物理常数，Qm为质量流量，K是指数系数。
热式质量流量控制器内的传感器由两个基准级热电阻组成，一个是速度传感器，另一个是测量气体温度变化的温度传感器。当这两个热电阻被置于管道内被测气体中时，其中速度传感器被加热，另一个温度传感器则用于测量气体的温度。随着气体的流量增大，带走的热量就上升，那么温度传感器自身的温度就会下降。 而温度传感器前后的温度变化值与通过该管路内的气体的质量流量恰恰是成线性比例的，由此工作原理则可推算出气体的质量流量。
