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热式气体质量流量计中的热力学涉及热传导、热扩散、热补偿、热幅射、热零漂、热时漂、热梯度、热传递、热容比、热负载、热稳定等热力学方面的知识和技术。其所采用的测量传感器大多用PT100、PT500、PT1000、PT2000(正温度系数。即温度上升，阻值增加，负温度系数相反。)及半导体热敏电阻NTC(负温度系数)。由于PT薄膜铂电阻的温度系数稳定，温度每升降1℃,PT10、PT100、PT1000、PT2000电阻值变化依次是0.038Ω、0.38Ω、3.8Ω和7.6Ω，举例PT1000,0℃时阻值1000Ω，100℃时阻值为1385Ω、400℃时阻值2600Ω(2.6kΩ)。
热式气体质量流量计的薄膜铂热敏电阻具有较好的复制性、重复性和一致性。铂热敏电阻的缺陷是抗介质腐蚀和抗氧化性能差，热容比和热惯性较大，使用时需装入316L不锈钢或哈氏合金的保护套管中，如果操作不当，其特性很难把握，否则，温度系数大，受温度影响严重，可能使测控数据受到影响，导致仪表不能正常工作。
