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本文关键词：质量流量控制器
气体质量流量控制器含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路和电磁阀和PID控制电路。其可较广地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
