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气体质量流量控制器的结构和应用



本文关键词:质量流量控制器

      气体质量流量控制器是在20℃,1个大气压条件下标定的,主要是指气体在1分钟的体积流量单位。流量传感器、质量流量控制器的研发和使用。热式气体质量流量计多用于气密性测试、气体检测仪、空气检测、半导体设备等气体流量检测行业和生产。   热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。

       仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比。气体流量计量中新型仪表,不需要进行压力和温度修正是区别于其它气体流量计重要指标,能直接测量气体的质量流量,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。








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