质量流量控制器的优势和应用范围

      本文关键词：质量流量控制器

      质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量。

      质量流量控制器和质量流量计特点主要有：采用主体不锈钢(316L)构造，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON、聚四氟乙烯等；合用于多种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；反复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范畴宽(可以在高压或真空条件下工作)。

      质量流量控制器操作使用安装方便，便于与计算机连接实现自动控制。其主要用于：半导体制造行业的气体流量控制，分析仪器设备的气体计量与控制，化工、石化、食品行业气体流量监测和控制。