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质量流量控制器的优势和应用范围



      本文关键词:质量流量控制器

      质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量。

      质量流量控制器和质量流量计特点主要有:采用主体不锈钢(316L)构造,与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON、聚四氟乙烯等;合用于多种腐蚀性气体;气体流量不因温度、压力的变化而失准;反复性好;响应速度快、软启动、稳定可靠;低压降;工作压力范畴宽(可以在高压或真空条件下工作)。

      质量流量控制器操作使用安装方便,便于与计算机连接实现自动控制。其主要用于:半导体制造行业的气体流量控制,分析仪器设备的气体计量与控制,化工、石化、食品行业气体流量监测和控制。







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