更新时间：2022-06-20 16:04:44
本文关键词：质量流量控制器
气体质量流量控制器同标准控制器一样， 能对需要较高管线压力的应用环境进行控制响应，可较快达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，也不会影响正常性能。。其主要特点有：监控流速的同时控制压力，可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用气体编辑器确定自己的气体组成。
气体质量流量控制器的连接类型较多，可以利用以太网/IP、EtherCAT 、DeviceNet、 Profibus、 Modbus (RTU和TCP/IP)或串行通讯选项。因此该款仪表可以整合到多种应用设备汇总。气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动，并且使用寿命较长。为保证对环境影响的耐受性，的MFC构建可达到IP66等级防护。
可用量程Z大0-5000 slpm，Z小0-10 sccm；可调比: 50:1；校准精度(NIST可溯源) : +2%满量程；可重复性: 0.2%满 量程；标准控制器响应时间常数: 50-100ms
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