质量流量控制器还可自动控制气体流量

       本文关键词：质量流量控制器

       质量流量控制器即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有质量流量计的功能，还可自动控制气体流量，用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。气体质量流量单位一般以 SCCM ( Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute)来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。

       热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。其本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。可以测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围大。质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出，还可以实现流量的自动控制。