质量流量控制器的应用小知识

      本文关键词：质量流量控制器

    质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。

    质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。主要用于扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造等设备中。

       MC系列数字式质量流量控制器可通过定制化的比例调节阀测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力，还可同时测量并显示气体温度。其内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。