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气体质量流量控制器的特点和应用领域



       本文关键词:质量流量控制器


       气体质量流量控制器Mass gas flow controller(meter) 缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。 可耐压高及适用于真空条件下工作。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。 主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。 适用于各种耐腐蚀性气体。


       气体质量流量控制器可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自 动控制系统配合。 配合LF-SXV系列流量显示仪,可对气体的瞬时流量进行精确控制。质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为: mLn/min(标准毫升/分钟);(SCCM 行业标准) Ln/min (标准升/分钟)。(SLM 行业标准) 标准状态为:温度----273.15K(0℃);气压----101325Pa(760mmHg)F.S(Full Scale):表示满量程值。   


       主要用于:半导体制造行业的气体流量控制; 分析仪器设备的气体计量与控制; 各种形式的真空镀膜设备; 环境检测与分析设备; 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制; 特种材料表面处理装置与燃烧控制; 混气配气系统和泄露探测系统等







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