气体质量流量控制器的主要应用场合

      本文关键词：质量流量控制器

      气体质量流量控制器用于对于气体的质量流量进行精密丈量和控制；主要用于扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管丈量景象形象色谱仪，光导纤维制造设备中。还可用于石油化工，冶金，制药等。特点是精度高，重复性好。

      气体质量流量控制器由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行丈量；在MFM基础上加上调节阀构成MFC，既可以对气体质量流量进行丈量，也能对流量进行控制。其传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部分的气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了MFM的功能。