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采用蓝宝石为敏感元件材质的压力变送器特点



       本文关键词:压力变送器
 
       压力变送器利用应变电阻式工作原理,采用硅蓝宝石作为半导体敏感元件。蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;蓝宝石比硅要坚固,硬度高,不怕形变;蓝宝石有着比较好的弹性和绝缘特性( 1000 OC以内),因此,利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,在高温条件下蓝宝石的抗辐射特性好,另外, 硅-蓝宝石半导体敏感元件,无漂移。
 
       蓝宝石压力变送器从根本上简化了制造工艺,具有高重复性,高成品率。可在恶劣的工作条件下正常工作,并且精度好、温度误差较小、性价比高。表压压力传感器和压力变送器由双膜片构成:钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片,被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上(接收膜片与测量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起)。在压力的作用下,钛合金接收膜片产生形变,该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后,其电桥输出会发生变化,变化的幅度与被测压力成正比。





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